1. Definisie van 'n grootmaatgasstelsel:
Berging en drukbeheer van inerte gasse Gassoorte: Tipiese inerte gasse (stikstof, argon, saamgeperste lug, ens.)
Pyplyngrootte: Van 1/4 (moniteringspyplyn) tot 12-duim hoofpyplyn
Die hoofprodukte van die stelsel is: diafragmaklep/balgklep/kogelklep, hoësuiwerheidskonnektor (VCR, sweisvorm), ferrulekonnektor, drukregulerende klep, drukmeter, ens.
Tans sluit die nuwe stelsel ook 'n grootmaat-spesiale gasstelsel in, wat vaste gassilinders of tenkvragmotors vir berging en vervoer gebruik.
2. Definisie van suiweringstelsel:
Verwydering van onsuiwerhede uit grootmaatgasse vir hoë-suiwerheid gaspyplyne
3. Definisie van gaskaste:
Verskaf drukbeheer en vloeimonitering vir spesiale gasbronne (giftige, vlambare, reaktiewe, korrosiewe gasse), en het die vermoë om gassilinders te vervang.
Ligging: Geleë op die subfabriekvloer of die onderste verdieping vir die berging van spesiale gasse. Bron: NF3, SF6, WF6, ens.
Pyplyngrootte: Interne gaspyplyn, gewoonlik 1/4 duim vir prosespyplyn, 1/4-3/8 duim hoofsaaklik vir hoë suiwerheid stikstofsuiweringspyplyn.
Hoofprodukte: Hoë suiwerheid diafragma kleppe, terugslagkleppe, drukmeters, drukmeters, hoë suiwerheid verbindings (VCR, sweisvorm) Hierdie gaskabinette bevat basies outomatiese skakelvermoëns vir silinders om deurlopende gastoevoer en veilige vervanging van silinders te verseker.

4. Verspreidingsdefinisie:
Die gasbron aan die gasversamelingspoel koppel
Lyngrootte: In die skyfiefabriek wissel die grootte van die grootmaatgasverspreidingspyplyn gewoonlik van 1/2 duim tot 2 duim.
Verbindingsvorm: Spesiale gaspyplyne word gewoonlik deur sweiswerk verbind, sonder enige meganiese verbinding of ander bewegende dele, hoofsaaklik omdat die sweisverbinding sterk verseëlingsbetroubaarheid het.
In 'n skyfiefabriek is daar honderde kilometers pype wat gekoppel is om gas oor te dra, wat basies omtrent 20 voet lank is en aanmekaar gesweis is. Sommige pypbuigings en buisvormige sweisverbindings is ook baie algemeen.
5. Multifunksionele klepkas (Klepspruitstukkas, VMB) Definisie:
Dit is om spesiale gasse vanaf die gasbron na verskillende toerustingpunte te versprei.
Interne pyplyngrootte: 1/4 duim prosespyplyn, en 1/4 - 3/8 duim suiweringspyplyn. Die stelsel kan rekenaarbeheer gebruik om geaktiveerde kleppe te vereis of laer koste-situasies met handkleppe te gebruik.
Stelselprodukte: hoë suiwerheid diafragma kleppe/balg kleppe, terugslagkleppe, hoë suiwerheid verbindings (VCR, mikro-sweisvorm), drukregulerende kleppe, drukmeters en drukmeters, ens. Vir die verspreiding van sommige inerte gasse word die Valve Manifold Panel - VMP (multifunksie klepskyf) hoofsaaklik gebruik, wat 'n oop gasskyfoppervlak het en nie 'n geslote ruimte-ontwerp en addisionele stikstofsuiwering benodig nie.

6. Sekondêre klepplaat/boks (Gereedskapaansluitingspaneel) Definisie:
Verbind die gas wat deur die halfgeleiertoerusting benodig word vanaf die gasbron na die toerustingkant en voorsien ooreenstemmende drukregulering. Hierdie paneel is 'n gasbeheerstelsel wat nader aan die toerustingkant is as die VMB (multifunksieklepkas).
Gaspyplyn grootte: 1/4 - 3/8 duim
Vloeistofpyplyngrootte: 1/2 - 1 duim
Afvoerpyplyngrootte: 1/2 - 1 duim
Hoofprodukte: diafragmaklep/balgklep, eenrigtingklep, drukreguleerklep, drukmeter, drukmeter, hoësuiwerheidsverbinding (VCR, mikrosweiswerk), ferruleverbinding, kogelklep, slang, ens.
Plasingstyd: 22 Nov 2024